Mae ystafell lân microelectroneg yn amgylchedd cynhyrchu arbennig i sicrhau ansawdd ac effeithlonrwydd cynnyrch mewn diwydiant microelectroneg. Ar gyfer y prosiect hwn, ystyrir llawer o ffactorau megis puro aer, tymheredd, lleithder, electrostatig, a rheoli sŵn ac ati.
Dosbarthiadau gwahanol o ddiwydiannau cymhwysiad ystafell lân microelectroneg:
1.Gweithgynhyrchu cylched integredig
- ISO 1 - 3: a ddefnyddir yn aml yn y broses fwyaf datblygedig o ffotoysgythru, ysgythru ac eraill, sy'n gofyn am reolaeth uchel iawn o ronynnau bach, a gall ychydig o halogiad arwain at ddiffygion sglodion.
- ISO 4 - 5: Yn addas ar gyfer dyddodiad ffilm tenau, mewnblannu ïon a phrosesau eraill mewn gweithgynhyrchu sglodion, ac mae ganddo hefyd ofynion rheoli gronynnau llym.
2.Prawf amgáu lled-ddargludyddion
- ISO 6 - 7: Gall fodloni gofynion y rhan fwyaf o gysylltiadau prawf pecynnu, megis pecynnu sglodion, prawf swyddogaethol, ac ati.
3. Gweithgynhyrchu arddangos panel
- ISO 5 - 6: Wedi'i ddefnyddio mewn cotio ac amlygiad gweithgynhyrchu paneli LCD.
4. Gweithgynhyrchu cydrannau electronig
- ISO 7 - 8: a ddefnyddir ar gyfer cynhyrchu cydrannau electronig â gofynion amgylcheddol cymharol isel, megis gwrthyddion, cynwysorau, ac ati.
Yn fyr, po uchaf yw dosbarth yr ystafell lân, y lleiaf yw nifer y gronynnau crog yn yr aer y gellir eu rheoli, y mwyaf pur yw'r amgylchedd, a'r mwyaf addas ar gyfer prosesau cynhyrchu microelectroneg sydd angen amgylcheddau cynhyrchu llym iawn. Fodd bynnag, mae'r ystafell lân dosbarth is yn addas ar gyfer prosesau cynhyrchu sydd angen amgylchedd cymharol llac.
Prif ddyfeisiau system puro aer ystafell lân microelectroneg:
Hidlydd 1.Air
- Hidlydd effeithlonrwydd cynradd: a ddefnyddir yn bennaf i hidlo gronynnau mwy, megis llwch, gwallt, ac ati, i chwarae rhan ragarweiniol wrth buro'r aer.
- Hidlwyr effeithlonrwydd canolig: hidlo llygryddion gronynnol maint canolig a gwella glendid aer ymhellach.
- Hidlydd HEPA: mae gan y ddyfais allweddol i gyflawni glendid uchel gydag effeithlonrwydd hidlo uchel ar gyfer gronynnau uwchlaw 0.3 micron
- Hidlydd effeithlonrwydd uwch-uchel (hidlydd ULPA): ar gyfer 0.1 - 0.3 gronynnau micron gall ei effeithlonrwydd hidlo fod yn uwch na 99.999%, ac fe'i defnyddir yn aml mewn mannau â gofynion glendid uchel iawn.
2.Fan
- Yn gyfrifol am yrru'r llif aer, gan wneud i'r aer basio trwy'r hidlydd a chylchredeg yn yr ystafell lân.
3.Duct
-yn cael ei ddefnyddio i gludo aer wedi'i hidlo i sicrhau dosbarthiad unffurf o aer i bob rhan o'r ystafell lân.
4. Uned trin aer ffres
- cyflwyno awyr iach y tu allan, ei hidlo, ac addasu tymheredd a lleithder i ddiwallu anghenion yr ystafell lân.
5. Uned puro aer
-integreiddio amrywiaeth o swyddogaethau puro a chyflyru, megis hidlo, sterileiddio, dehumidification, humidification ac yn y blaen.
6. Siambr pwysau statig
-sefydlogi llif aer, lleihau cynnwrf a sŵn llif aer, a sicrhau llif aer unffurf trwy hidlwyr.
7. Tawelwr
- Lleihau sŵn a gynhyrchir gan gefnogwyr a llif aer, gan ddarparu amgylchedd gwaith tawel
8. Synwyryddion a rheolwyr pwysau gwahaniaethol
- Monitro'r gwahaniaeth pwysau rhwng gwahanol rannau o'r ystafell lân i sicrhau bod aer yn llifo i gyfeiriad a bennwyd ymlaen llaw i atal croeshalogi halogion.
Mae'r dyfeisiau hyn yn gweithio gyda'i gilydd i sicrhau bod ansawdd aer yr ystafell lân microelectroneg yn cyrraedd y dosbarth glendid gofynnol.
Camau allweddol a phwyntiau technegol peirianneg ystafell lân microelectroneg:
1. cynllunio dylunio: yn ôl y broses gynhyrchu a gofynion, penderfynu ar y dosbarth cleanroom, ardal, cynllun, ac ati Ar yr un pryd, y llwybr llif personél, deunyddiau ac offer, yn ogystal â dylunio puro aer, aerdymheru a dylid ystyried systemau goleuo.
Strwythur 2.Building: dylai fod â pherfformiad selio ac inswleiddio thermol da i leihau effaith yr amgylchedd allanol ar y tu mewn. Ar yr un pryd, mae angen defnyddio deunyddiau nad ydynt yn hawdd i gynhyrchu llwch a thrydan sefydlog, megis dur di-staen ac aloi alwminiwm.
3. System puro aer: mae'n rhan graidd o beirianneg ystafell lân microelectroneg. Fel arfer, defnyddir hidlwyr effeithlonrwydd uchel, cefnogwyr, dwythellau aer a dyfeisiau eraill i gael gwared ar lwch, bacteria, firysau a llygryddion eraill mewn aer dan do, fel bod yr aer yn cyrraedd lefel glendid benodol.
4. System aerdymheru: rhaid iddo allu rheoli gwahaniaeth tymheredd, lleithder a phwysau dan do i fodloni gofynion y broses gynhyrchu. Ar yr un pryd, dylid mabwysiadu offer a thechnoleg aerdymheru sy'n arbed ynni ac sy'n gyfeillgar i'r amgylchedd i leihau costau gweithredu.
5. Rheolaeth electrostatig: mae proses gynhyrchu microelectroneg yn dueddol o gynhyrchu trydan statig a fydd yn effeithio ar ansawdd y cynnyrch. Felly, mae angen cymryd mesurau dileu statig, megis defnyddio dilewyr statig, gosod lloriau gwrth-sefydlog, ac ati.
6. Rheoli sŵn: Byddai sŵn yn effeithio ar effeithlonrwydd gwaith ac iechyd personél, felly mae angen cymryd mesurau rheoli sŵn, megis defnyddio deunyddiau inswleiddio sain, gosod mufflers, ac ati.
7. System goleuo: dylai allu darparu digon o ddisgleirdeb ac unffurfiaeth i fodloni gofynion y broses gynhyrchu. Ar yr un pryd, dylid mabwysiadu offer goleuo sy'n arbed ynni ac sy'n gyfeillgar i'r amgylchedd a thechnolegau i leihau costau gweithredu.
8. Rheoli personél a deunyddiau: bydd mynediad ac allanfa personél a deunyddiau yn cael ei reoli a'i reoli'n llym i leihau cyflwyniad llygryddion allanol. Ar yr un pryd, dylid hyfforddi personél i wella eu hymwybyddiaeth o lanweithdra a'u sgiliau gweithredol.
9. Profi a gwirio: ar ôl adeiladu'r ystafell lân, dylid cynnal prawf a dilysu i sicrhau bod perfformiad yr ystafell lân yn bodloni'r gofynion dylunio, sy'n cynnwys glendid aer, tymheredd, lleithder, gwahaniaeth pwysau, trydan statig, ac ati.
I gloi, mae peirianneg ystafell lân microelectroneg yn system gymhleth sy'n gofyn am sawl ffactor. Dim ond trwy fabwysiadu technoleg uwch ac offer y gellir adeiladu ystafell lân sy'n bodloni'r gofynion.
Tagiau poblogaidd: ystafell lân microelectroneg, cyflenwyr ystafell lân microelectroneg Tsieina, gweithgynhyrchwyr, ffatri
