Glanhau ystafell i o fewn rhanbarth penodol o ronynnau llwch gofod yn yr aer, niwed nwyon, bacteria niweidiol, megis gollwng llygredd, a'r tymheredd dan do, glendid, y pwysau y tu mewn i'r mygu, seiclon cyflymder seiclon gwasgaredig, sŵn, dirgryniad a goleuo offer, rheolaeth statig yn yr ardal fanyleb benodol, a rhoi arbennig llunio gan gofod. Hynny yw, ni waeth sut mae'r amgylchedd aer allanol yn newid, gall yr aer gynnal glendid, tymheredd a lleithder, pwysau a nodweddion perfformiad eraill y safonau gosod gwreiddiol.
Prif swyddogaeth yr ystafell lanhau yw rheoli'r dyddiau gradd glanhau a thymheredd a lleithder yr aer y mae cynhyrchion menter (fel sglodion silicon, ac ati) yn agored iddynt, fel y gellir cynhyrchu cynhyrchion menter mewn rhanbarth a gynhelir yn dda. gofod amgylcheddol, a elwir yn ystafell lanhau. Yn ôl y confensiwn, mae'r radd puro glân yn cael ei ddiffinio'n bennaf yn ôl nifer y gronynnau ym mhob metr ciwbig o aer y mae eu diamedr yn fwy na'r fanyleb rhannu. Mewn geiriau eraill, nid absenoldeb ychydig o lwch yw glendid, ond mewn ychydig iawn o unedau. Wrth gwrs y norm
Yn unol â'r gronynnau llwch safonol o'i gymharu â'r llwch sych bellach yn fflat micro bach ei ficro, ond ar gyfer y strwythur optegol electronig, hyd yn oed ychydig o lwch yn effaith andwyol fawr iawn, felly yn y strwythur optegol electronig cynhyrchion menter
Yn y gorffennol, roedd glendid yn norm angenrheidiol.
Mae maint y llwch sych bach gyda maint gronynnau A o 0.3 micron yn cael ei reoli o dan 3500 fesul metr ciwbig, sy'n cyrraedd gradd A y cod glân rhyngwladol. Mae'r fanyleb lân gyfredol a ddefnyddir mewn cynhyrchu lefel sglodion a phrosesu llwch o radd sych uchel A, a defnyddir safonau mor uchel yn bennaf
- Cynhyrchir rhai sglodion gradd uwch ar. Mae maint y llwch mân o 0.5um ac is yn cael ei reoli'n llym o fewn 1000 fesul metr ciwbig, a elwir yn gyffredin fel y milfed gradd yn y diwydiant.
Mae gwladwriaethau ystafell lân yn cael eu dosbarthu i'r tri math canlynol
Cyflwr aer: cyfradd lân (offer) sydd wedi'i adeiladu ac sy'n barod i'w weithredu. Mae ganddo'r holl warantau a swyddogaethau sy'n ymwneud â chyfradd glendid. Fodd bynnag, nid oes unrhyw weithredwyr a dim offer cynhyrchu o fewn y gyfradd lân.
Statig: mae pob math o ystafelloedd glân yn gwbl weithredol, mae'r offer wedi'i osod yn iawn, a gellir defnyddio'r ystafell lân (offer) neu ei ddefnyddio yn ôl y Gosodiadau, ond nid oes gweithrediad yn yr ystafell lân.
Deinamig: Ystafell lân mewn defnydd arferol, mae swyddogaeth ystafell lân wedi'i chwblhau, gydag offer a phersonél, os oes angen, yn gallu gweithio fel arfer.